SONIC WA-790 三维超声波风速计 原理与应用解析

一、产品概述

WA-790 是日本 SONIC 索尼克推出的洁净室专用三维超声波风速计，采用时分收发切换型超声波脉冲方式，基于超声波传播时间倒数差算法，

可同时采集三维方向风速分量，支持从 0m/s 起的微风速稳定测量，无机械转动部件，不存在磨损、卡顿问题，非常适合高等级洁净环境长期监测。

标配搭配 TR-90T/TR-92T 探头、USC-71 信号转换器、WASP-007N 气流监控软件，整套系统可完成数据采集、存储、三维气流可视化绘图。

二、核心工作原理

WA-790 依靠探头内部多组超声波换能器互相发射、接收超声脉冲。空气流动会改变超声波在换能器之间的传播时间，仪器通过测算顺流、

逆流传播时差，解算出 X/Y/Z 三个方向的风速矢量，不受温度漂移干扰，0.5s 快速响应，每秒 10 组数据采样，实时捕捉洁净室微小气流波动，

实现气流矢量大小与方向的量化呈现。区别于传统叶轮式风速仪，无机械结构，不会干扰被测流场，适合层流罩、晶圆工作台、洁净隧道等近距离气流测试场景。

三、关键技术参数

• 测量原理：超声波传播时间倒数差演算方式

• 测量范围：0～10 m/s

• 测量精度：±（读数 2% +0.02m/s）（TR-90T 探头）

• 响应时间：0.5s

• 采样速率：10 次 / 秒

• 信号输出：RS-422，配套转换器转 USB 接入 PC

• 供电：AC100～240V，50/60Hz

• 配套软件：WASP-007N，支持风速时序曲线记录、三维矢量图、断面气流分布图绘制、历史数据回放

• 探头可选：TR-90T（5cm 跨度）、TR-92T

四、行业应用场景

1. 半导体洁净车间：晶圆制程、光刻区域层流状态验证，排查工作台局部涡流，管控微粒扬起风险；

2. 面板与光学产线：洁净舱内气流均匀性测试，保障光学元件、偏光片生产环境稳定；

3. 医药与生物洁净室：GMP 车间气流流型测试，气流可视化报告输出；

4. 实验室与风洞测试：微小流场科研测试，气流扰动量化分析。

五、产品优势

✅ 零风速可测：支持 0m/s 起测，微风环境无零点漂移；✅ 无机械结构：不破坏流场，无磨损，洁净环境适用性强； 

✅ 三维矢量测量：不只测风速大小，同步捕捉风向，气流可视化；✅ 抗温度干扰：温度变化不影响测量精度，长时间连续监测稳定；

 ✅ 完整配套方案：探头、信号转换器、线缆、分析软件成套交付，开箱即可搭建测试系统。