洁净检测筑防线｜KANOMAX 闪耀 IICIE 国际集成电路创新博览会

2026年9月9-11日，IICIE国际集成电路创新博览会（IC创新博览会）在深圳国际会展中心举办。本届展会呈现芯片及芯片设计、功率半导体、晶圆制造及封装测试服务、半导体设备、半导体材料、半导体核心零部件等全产业链环节。


 
KANOMAX携尘埃粒子计数器、热式风速仪、风速变送器、微差压计等检测仪器亮相15B18展位，聚焦晶圆制造、芯片生产等环境监测，针对性化解洁净车间环境验证、日常巡检、合规管控等，为集成电路制造的环境品质保驾护航。


 
KANOMAX展台人头攒动，半导体各产业链来宾纷纷驻足，围绕洁净环境监测、气流管控等行业痛点展开深度交流，现场探讨氛围浓厚。


 
工作人员详解产品性能与应用方案，并现场进行产品演示，观众对仪器便捷的操控体验、可靠的检测能力给予充分肯定。


 
在晶圆加工、涂胶显影、刻蚀、封装测试等核心制程中，细微悬浮颗粒与气流紊乱问题极易诱发晶圆表面污染、图案畸变与线路缺陷，直接制约芯片良率提升与产品稳定性。因此，高精度、全流程的洁净环境监测与气流管控，已成为至关重要的关键环节。


 
本次KANOMAX展出多款粒子计数器产品备受关注。全新推出的3901型号尘埃粒子计数器面向半导体高洁净场景量身打造，适配晶圆制造、封装测试全流程检测，实时管控颗粒物污染，规避颗粒附着晶圆带来的产品缺陷，保障工艺精度与生产稳定性，助力芯片良率提升。


 
3901粒子计数器支持0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、1.0μm粒径同步监测，28.3L/min标准采样流量，搭载10.1英寸触控大屏，支持戴手套操作；可导入房间地图实现测试点位可视化管理，规避漏测、错测。同时具备Wi‑Fi远程控制，单机存储20000组测试记录，三电池槽保障5小时以上连续作业；可选配风速、温湿度、差压传感器及高压扩散器，一机完成洁净室综合性能验证。


 
半导体显影、刻蚀、晶圆切割等关键工艺，对洁净室及设备内部局部风速要求较高，气流环境直接决定制程精度、生产良率与芯片可靠性。稳定的流场可有效清除光刻胶残渣、刻蚀副产物、切割粉尘等微颗粒，避免污染物附着晶圆引发制程缺陷。反之，风速偏高、偏低或分布不均等异常情况，都会造成良率下降。


 
在光刻胶涂布和显影过程中，行业多通过风机过滤单元（FFU）高效过滤器（如HEPA或ULPA）营造洁净生产环境，有效去除环境中的颗粒物。KANOMAX 65Ser环境测试仪有效识别风速异常问题，同步检测温湿度、压力并准确测算风量，搭配8款可互换探头，凭借高精度、多参数测量、操作便捷的优势，广泛应用于半导体制造领域。



 
KA26/36 热式风速仪支持蓝牙无线通讯，机身便携，可同步检测风速、温度、压力，探头可弯曲互换，广泛应用于洁净室、工业通风、空调系统检测。


 
全新升级的3887Pro尘埃粒子计数器，可检测0.3~5.0μm粒径，搭载3.5英寸彩色触控屏，采样流量2.83L/min，操作简便、数据可靠，适配洁净环境巡检。


 
3905粒子计数器，采样流量28.3L/min，支持6种粒径0.3 、0.5、 1.0、 3.0、 5.0、10.0μm同步检测，配备6.4英寸彩色触摸屏，可存储万组数据并内置打印机，能够快速判定洁净室等级。


 
展会现场，众多半导体企业结合产线建设与提质升级需求，围绕颗粒智能管控、洁净厂房标准化建设、设备腔体环境监测等落地细节展开深度交流，多家企业达成初步合作意向，后续将推进技术对接、现场实测与定制化方案落地。


 
目前KANOMAX检测设备已服务国内多家头部半导体企业，覆盖洁净室巡检、设备点位在线监测、排风气流优化、压差管控等核心场景。


 
KANOMAX将继续打磨精密环境检测产品与整体解决方案，立足半导体洁净检测赛道，助力国内半导体设备自主创新，为我国芯片产业高质量发展贡献力量。


 
感谢各位莅临加野KANOMAX展台参观交流，明日精彩继续，让我们共同见证半导体行业发展新征程！