理研计器GD-81D泵吸式单点固定式气体检测器的参数

理研计器GD-81D泵吸式单点固定式气体检测器的参数

半导体工厂专用 泵吸式单点固定式气体检测器（GD70D 升级款）**理研計器株...

基础规格

- 采样方式：内置泵吸式，流量固定 0.5 L/min，PTFE 快插接口 φ6×φ4mm

- 外形尺寸：70 (W) ×120 (H) ×145 (D) mm，重量约 0.8kg，壁挂安装

- 供电：DC24V ±10%

- 通信版本

  - GD-81D：4-20mA 模拟量输出**，继电器报警触点

  - GD-81D-ETD：Ethernet 网口，支持 PoE 供电，Web 网页访问**RKI Instru...

- 屏幕：全点阵 LCD，可显示气体名称、实时浓度、采样流量、报警 / 故障信息

- 报警：**两段报警 ALM1（一级）、ALM2（二级）**；故障 FAULT 黄灯，支持自锁 / 自动复位

- 自诊断：传感器异常、泵流量不足、通讯故障、热解器故障检测RKI Instru...

 传感器体系（可插拔智能传感器单元，兼容老款 GD70D 传感器）

一台主机**最多支持 2 个传感器，同时检测 2 种气体（2in1）**，节省管路成本RKI Instru...

理研计器GD-81D泵吸式单点固定式气体检测器的参数

| 传感器型号 | 检测原理 | 典型检测气体 |

| --- | --- | --- |

| NCU/NCF | 接触燃烧式 | 可燃气体 CH₄、H₂、IPA 等 |

| ESU/ESF | 恒电位电解 | HCl、Cl₂、NH₃、H₂S、CO 等有毒气体 |

| OSU | 隔膜伽伐尼电池 | O₂氧气 |

| IRU/IRF | 红外 NDIR | CO₂、制冷剂 |

| SSU | 热粒子化（搭配 PLU-80 热解器） | TEOS、TMA、硅烷类等高温分解气体 |

| SGU/SGF、SHU/SHF | 半导体 / 热线半导体 | VOC 类 |

 选配 PLU-80 热解单元，可检测有机金属、硅烷类难直接检测的半导体工艺气体RKI Instru...

核心特点

1. 一机双测：单台检测器内置两路传感器，同时监测两种气体，减少点位数量

2. 模块化免工具维护：泵、传感器单元前侧插拔更换，无需拆机，传感器自带校准记忆

3. 低噪长寿命采样泵；主机内部无管路，减少泄漏隐患

4. 丰富输出：4-20mA / 网口 + Web / 继电器干接点，方便接入工厂 FAB 监控系统

5. 适配半导体 FAB、VMB 柜、机台周边、化学品柜气体泄漏监测场景

6. 非防爆型，洁净室内使用（和 FPM-80A 是搭配使用：FPM80A 是多点点纸带系统，GD81D 是单点泵吸传感器）

 和 FPM-80A 简单对比（你前面问的机型）

- GD-81D：单点 / 双点、电化学 / 红外 / 热粒子传感器；ppm 级，独立壁挂探测器；适合常规毒气、可燃、氧气；无纸质物证。

- FPM-80A：一台主机最多 80 个采样点，化学纸带法；ppb 超高灵敏度；专门针对微量剧毒腐蚀气体；纸带留存泄漏物证，成本更高。