日本NEWCOSMOS新宇宙PS-7泵吸式半导体气体检测器参数
日本NEWCOSMOS新宇宙PS-7泵吸式半导体气体检测器参数
一、产品特点
● 通过更换传感器就可以检测多种气体的半导体材料气体检测器
● 传感器经过校准和交付,无需现场气体校准。此外,无需工具即可轻松更换传感器
● 小巧·轻便的设计
● 通过LCD显示屏轻松了解气体浓度,报警状态和错误信息
● 采样流量的自动控制功能
● 当插入与设置不同的传感器时,传感器具有防止错误插入的功能
● 通过连接PDA,可以获取存储在检测单元中的数据
● 转换器单元(选件)可用于检测NF3和CCl2。
● 符合CE标准
● 符合SEMI标准
二、产品参数
型号 | PS-7 | ||
类型 | 标准型 | 附带转换器组件型 | |
检测原理 | 定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式 | 热分解+定电位电解式 | |
采样方式 | 泵吸引式(0.5L/min吸引流量 自动控制) | ||
采样配管 | 特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内 | ||
气体浓度显示 | 液晶数字四位显示(附带单位)20分割条形图 | ||
报警接点 | •气体报警(1段以及二级) 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示 | ||
外部输出 | 气体浓度模拟输出 DC4~20mA(与电源的负极通用) 气体报警接点(1段以及两极) 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 (开路集电极/自动复位) | ||
适合电缆线 | 控制用屏幕电缆线(Φ8~11mm)x2 3芯或者4芯 | ||
使用温度湿度范围 | 0℃~40℃(但是不能有剧烈的温度变化)、30~85%RH(但不能结露) | ||
使用电源 | DC24V±10% | ||
消耗电力 | 约7w | 约10w | |
尺寸 | •W62xH124xD143mm(除去突起物) | ||
重量 | 约1.0kg |
气体一览表
型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S |
PS-7NH | NH3 | 100ppm | PS-7GH | GeH4 | 1ppm | PS-7HS | H2S | 50ppm |
PS-7SH | SiH4 | 25ppm | PS-7CL | CL2 | 5ppm | PS-7CO | CO | 250ppm |
PS-7DC | SiHCL3 | 25ppm | PS-7CF | CLF3 | 1ppm | PS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
PS-7AS | AsH3 | 250ppb | PS-7HC | HCL | 25ppm | PS-7F2 | F2 | 5ppm |
PS-7PH | PH3 | 1ppm | PS-7HF | HF | 1ppm | PS-7OZ | O3 | 1ppm |
PS-7BH | B2H6 | 500ppb | PS-7HF | BF3 | 1PPM | PS-7NO | NO | 100ppm |
PS-7SE | H2Se | 250ppb | PS-7HB | HBr | 10ppm |
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