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真空镀膜、真空炉检漏：ULVAC爱发科 Qulee BGM2-101/102 残余气体分析仪
2026年10月22日 15:35
来源：理科研贸易（苏州）有限公司
真空镀膜、真空炉检漏：ULVAC爱发科 Qulee BGM2-101/102 残余气体分析仪
产品类型：四极杆残余气体分析仪 RGA / 基础型工艺气体监测仪
BGM2 属于 Qulee 基础工艺系列，主打易用、高性价比，多用于真空蒸镀、真空炉检漏与残气监控；同系列还有 BGM2-201/202（质量范围 1~200amu）
核心特点
一体机集成显示，不用接电脑也可直接测量
One-Click 一键测量、一键检漏（He/H₂O/N₂/O₂等）
自带总压测量功能
标配以太网通信，配套 Qulee QCS 分析软件
离子源、SEM 倍增管可单独更换；CE 认证、RoHS 合规
传感器最高烘烤温度：120℃
供电：DC24V±10%，功耗 50W，标准 KF 法兰安装
BGM2-101 / BGM2-102 参数对比
| 项目 | BGM2-101 | BGM2-102 |
|---|---|---|
| 质量范围 | 1～100 amu | 1～100 amu |
| 质量分析方式 | 四极杆质谱，M/ΔM=1M（10% 峰高） | 四极杆质谱，M/ΔM=1M（10% 峰高） |
| 检测器 | 法拉第杯 FC | 法拉第杯 FC + 二次电子倍增管 SEM |
| 灵敏度 | 10⁻⁷ A/Pa | 4 A/Pa |
| 最小检测分压 | 10⁻⁸ Pa | 10⁻¹² Pa |
| 最大工作压力 | 1×10⁻² Pa | 1×10⁻² Pa |
| 适用场景 | 常规残气、水汽、漏气筛查，成本优先 | 微量杂质、ppb 级痕量气体、高精度检漏 |
典型应用
真空蒸发 / 蒸镀设备、真空热处理炉、真空腔体日常维护
氦检漏、水汽监测、空气漏入、工艺杂质监控
溅射、真空设备量产线设备状态管理（基础监控）
补充选型提示
如需更大质量范围（1~200amu），选 BGM2-201 / BGM2-202
溅射专用高压版本看 CGM2 系列；高性能版本 HGM2
选配 YTP-H 差分排气单元，可拓展到更高压力工况测量
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