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半导体超纯水制备安特蓝德UV系统绿色处理解决方案
2026年06月11日 10:38
来源：上海广思微净化设备有限公司
芯片制造，水为命脉。一颗指甲盖大小的芯片，从晶圆清洗到蚀刻抛光，每道工序都离不开电阻率高达十八兆欧厘米以上的超纯水。而水中残存的微量有机物、微生物和氯胺，哪怕低至ppb级别，都足以让整批晶圆报废。安特蓝德HOD紫外线系统，正是为解决这一命门而生的绿色利器。
安特蓝德来自以色列，其核心HOD水光学消毒技术融合了中压紫外线、光纤原理与水力学设计，在石英消毒室内实现全内反射，让紫外线光子反复折射、均匀覆盖每一滴水，灭活微生物的同时大幅降低能耗。相比传统低压紫外系统，中压灯功率更强、灯管更少，维护成本显著下降，且不受水温影响，冷水温水中均可高效运行。
在半导体超纯水制备的终端环节，安特蓝德UV系统承担四大核心任务：微生物灭菌、去除总有机碳、破解臭氧、脱除氯和氯胺。系统无需任何化学药剂，纯物理方式即可完成全部处理，契合半导体行业对零化学污染的要求。配合实时双传感器监控与智能软件控制，系统可根据水质波动自动调节灯管功率，在保证灭菌剂量的前提下将功耗压至低。
更值得关注的是，安特蓝德已深度参与中国国家重点研发计划，与清华大学、中国电子工程设计院联合攻关先进制程芯片用超纯水TOC降解关键技术，致力于突破该领域长期被欧美日垄断的技术瓶颈。目前其在华安装设备已超千台，广泛服务于半导体、光伏、制药等制造领域，以物理净水之道，守护中国芯片产业的用水纯度。
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