工艺气体中含有的 CO、CO2、HF、NH3、HCI、H2 O 等分子具有吸收近红外激光的特性，分子的浓度可以通过它们的吸收强度来确定。 由于该吸收带（波长）根据分子的类型而变化，因此可以通过选择要测量的分子的吸收波长来测量气体浓度，而不会受到其他分子的干扰。 由中央单元内置的二极管激光器产生的近红外波长激光通过称为混合电缆的光缆从发射器传感器照射到工艺气体中，并被光电探测器的光电晶体管的光电晶体管检测为电信号。 然后，检测到的电信号被转换回光信号，并通过环路和混合电缆返回到中央单元。 通过将照射的激光强度与接收的激光强度进行比较，可以测量待测气体成分的浓度。 中央单元包含一个包含待测组件的参考单元，该单元不断进行自我校准。
此外，还监测半导体激光器的发光强度，持续监测半导体激光器的异常并进行零点校准。 因此，LDS6 不需要使用标准气体进行校准。