ORC紫外线照度计UV-351功能特点

关于SD型和SN型

SN型已被长期使用我们曝光设备和辐照设备的客户广泛使用，保证了工艺管理的连续性。
SD 型用于已经使用其他公司制造的照度计的客户在半导体和液晶基板的制造过程（本公司制造的曝光设备）现场重视确保与那些测量仪器的数据兼容性。 SD型用于投影式曝光设备和液晶基板周边曝光设备），推荐给使用全新照度计的客户。

关于SD型和SN型指示值

SN型在与SD型的指示值相同的测量条件下测量我们测量组中用作校准辐射源的高压UV灯365nm的照度线，以确保旧过程数据的兼容性　。进行调整，使其显示比显示时显示的照度值高 39%：mW/cm

关于与其他公司生产的照度计和光度计的数据兼容性

与用于可见光的照度计和光度计（以LUX为单位测量家庭、办公室、商店、博物馆等的亮度的照度计和光度计）不同，它适用于所有用于紫外线的照度计和光度计。尚未设（似乎正在为少数有限用途进行 JIS 转换工作）。
每个公司的相对光谱灵敏度从测量的峰值波长（相对光谱灵敏度特性用 1 表示的波长）开始，即使它是为了测量主要由发射线组成的光源的照度而制作的365nm 短波长侧（300nm～310nm左右）和长波长侧（380nm～400nm左右）的上升、下降波长及其前后的曲线略有不同。
此外，虽然在设计方面正在努力使被称为COS θ特性的光接收器的光接收角特性更接近理想曲线，但现实是它尚未实现。