瑞士Neroxis 热导式气体传感器 MTCS2601

MTCS2601 传感器由基于 MEMS 技术的 4 个 Ni-Pt 电阻组成的微机械的热电导率传感器。此传感器安装在小型的 SMD 封装内。同时结合了低功耗 CMOS 标准集成电路，非常适合 OEC厂商的泄漏检测，或者基于帕拉尼原理的真空度检测，需要超低功耗，长寿命和免维护的产品。适用于恶劣环境下初级压力控制，需要功耗和尺寸的限制，或者是气体泄漏或者水分，或者侵入。

二、 热导式气体传感器 MTCS2601特点：

MEMS 传感器遵循没有化学反应的物理皮拉尼原理，基于气体热导率变化对于压力

测量范围：0.0001~1000mbar，可重复性
硅晶片上有加热电阻，并且有优异的温度补偿
超小的传感器气体体积例如<0.1cm3
稳定和长的 MTBF（>30000 小时） ，基于物理阻抗感应原理
超低功耗消耗（<6mW）,由于使用了带小加热元件的 MEMS 传感器
超快响应时间<50mS
对安装位置不敏感
可以使用在串扰气体环境中

与一个简单恒定的温度电路兼容

三、 热导式气体传感器 MTCS2601应用：

1.作为气体浓度测量传感器的应用：
室内外空气中H2、CH4、CO2、LPG气体监测
•食品工业的过程控制（例如碳酸饮料中二氧化碳的测量）
•用于燃料电池的氢传感器
•沼气厂中CH4的测量
•检测制冷气体（CFC、PFC、HFCs等）
•电子产品（例如潜水设备的氦气控制）
•呼吸系统监测（医疗）
•控制在惰性气体下运行的封闭系统中的泄漏（例如应变计、硬盘质量控制等）

2.作为真空度/压力测量传感器应用：
•固定和便携式分析仪器
•封闭系统（如动能储存系统）中的泄漏检测和主要真空控制
•半导体行业使用的真空设备
•食品工业（真空包装机）
一般来说，皮拉尼微型传感器占据的面积小，能够集成到任何需要其控制的主要真空系统中（例如，密封控制、潜在腐蚀或意外开启）

四、 热导式气体传感器 MTCS2601推荐的操作条件

MGSM2601 有 4 个分开连接的电阻：Rm1 和 Rm2 坐落在薄膜上和用于加热/测量； Rt1 和Rt2 坐落在传感器的“冷部分”和用于温度测量和补偿。对于在低真空的压力测量，恒定的
过温度操作模式是被推荐的。 由于在一定范围内的压力传导率改变是重要的， 能快速的取决于应用，方法避免传感器的损坏。

储存条件
温度： -40~100°C
湿度： 0~100%RH，非冷凝

机械压力测试
重力加速度：1000g, 0.2mS, 半正弦波
振动：10g RMS，正弦波：20~2000Hz