简易型微量金属污染物采样设备（SC系列）

简易型微量金属污染物采样设备（SC系列）

SC-3100
●通过与计算机联机，可选择丰富多样的采样模式，对晶圆正面以及端面的微量金属污染物进行采样操作。
●因为不太需要外部资源，也不太占地方，易于导入。
●采样操作由设备自动完成，无需熟练工就可轻松完成采样操作。
●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作，与SC-2000相比，可以减少由操作员引起的污染。

SC-8100
●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。
●对于晶圆表面状态、采样液种类的要求不苛刻，另外，还可以对非重金属离子进行采样。
●当然，也可以进行传统的憎水采样操作。

SC-9100
●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。
●对于晶圆表面状态，以及采样液种类的采样限制，本设备有所突破，另外，也可以对非重金属离子进行采样。
●当然，也可以进行常规的憎水采样操作。
●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作，与SC-8100相比，可以减少由操作员引起的污染。

※1，2: 追加项目需要另外计费，另外，对于亲水状态的晶圆，不能进行端面采样，谨请谅解。
※3：配置电脑需要另外计费。