PGT-RGA 残余气体分析仪-环境监测

产品详细

RGA 残余气体分析仪残余气体分析仪用于半导体过程分析分子束外延 MBE

-物理气相沉积 PVD

-化学气相沉积 CVD

-原子层沉积 ALD

-鉴别痕迹污染物 Identification of trace contaminants

-材料渗透率测试 Material pereability test

RGA 残余气体分析仪公司一直致力于质谱研发与市场应用，公司研发团队来自于高校、研究所和真空行业，具有十年以上的研发经验。PGT系列是由专业团队自主研发的国产RGA。凭借对质谱研发的深入和的产品设计以及完善的服务体系，为不同领域的客户提供完整的应用解决方案。ACT已成为国内多家院校和半导体企业的优质合作伙伴，并且拥有稳定可靠的供应商体系，仪器在兼具高质量的应用中性价比，是广大用户的理想选择产品。

RGA 残余气体分析仪技术参数
型号	PGT100F	PGT100M	PGT200F	PGT200M
传感器长度	14.4cm	19.6cm	14.4cm	19.6cm
质量数范围	100amu	100amu	200amu	200amu
分辨率（1）	<1amu	<1amu	<1amu	<1amu
灯丝类型选项	涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝	涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝	涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝	双涂覆氧化钇铱丝双灯丝/双钨灯丝
检测器类型	FC	EM	FC	EM
灵敏度（FC）	2.3E-6A/Pa	2.3E-6A/Pa	2.3E-6A/Pa	2.3E-6A/Pa
灵敏度（EM）	-	3.8A/Pa	-	3.8A/Pa
最小可检测分压（2）	3.5E-10Pa	2E-12Pa	3.5E-10Pa	2E-12Pa
最大传感器工作温度（FC）	200℃	N/A	200℃	-
最大传感器工作温度（EM）	-	150℃	-	150℃
温度系数（3）	<1%/℃	<1%/℃	<1%/℃	<1%/℃
最大烘烤温度	300℃	300℃	300℃	300℃
最大数据速率/点	2ms	2ms	2ms	2ms
最大工作压强	6.7E-2Pa	6.7E-2Pa	6.7E-2Pa	6.7E-2Pa
电源输入	24V（DC）	24V（DC）	24V（DC）	24V（DC）
（1）在10%峰高处（2）驻留时间为256ms情况下（3）在8h的时间段内，半小时预热后，仅FC模式
尺寸

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PGT-RGA 残余气体分析仪

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