原装HORIBA堀场光纤化学浓度检测仪CS-151F1

原装HORIBA堀场光纤化学浓度检测仪CS-151F1

多重监控

一台浓度计最多可测量 4 种类型（化学溶液或微波）。

测量周期短、响应快

支持300mm工艺的浓度管理，测量周期约为3秒。我们支持多槽以及单槽和单晶圆清洁设备的详细浓度控制。

从 2 种类型中选择

您可以选择强调实时浓度跟踪并直接内置于主管道中的串联单元类型，或强调稳定性并允许使用监视器输出进行反馈控制的单元单元类型。