新品到货！HORIBA 堀场 GA-370 高纯气体痕量分析仪

半导体制造使用高纯氮气、氩气、氢气，气体里面 ppb 级别的微量 CO、CO₂、CH₄、N₂O 杂质，就会造成晶圆良率下滑，HORIBA 堀场 GA-370 痕量气体监测仪，就是面向高纯气源品质管控的精密分析设备。

GA-370 超高灵敏度，捕捉气体里面痕量碳基杂质，用于空分制气厂、半导体特气柜、大宗气体管道连续监测，实时监控气源纯度，一旦杂质超标立刻报警，切断不合格气源，保护晶圆产线。设备运行稳定，低维护设计，适合 24 小时不间断在线监测。

在 12 英寸晶圆厂、特种气体供应企业、光伏高纯气体站应用很多。区别于环保烟气分析仪，GA-370 面向高纯洁净气体，气路全部采用高洁净材质，避免管路析出杂质干扰测量结果。

如果企业同时有环保烟气和特气检测需求，要区分选型：排放监测优先 AP-370 系列；高纯特气微量杂质检测选 GA-370。