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WAM-100的洁净室应用案例
2026-05-25 20:15
来源：
深圳市京都玉崎电子有限公司
WAM-100洁净室应用案例，结合了半导体行业的真实痛点与技术优势，非常适合用于宣传或客户沟通：
🏭 WAM-100 洁净室应用案例：某半导体晶圆厂气流可视化优化
项目背景与挑战：
国内某半导体晶圆厂在其核心的ISO 5级（百级）洁净车间内，长期面临局部微环境气流分布不均的难题。由于光刻工艺对空气中的微污染极其敏感，车间内任何微小的气流死角或涡流都可能导致微粒沉积，从而直接影响芯片的良品率。原有的传统测量手段不仅效率低下，且难以捕捉瞬时的气流波动，无法满足精细化管控的需求。
国内某半导体晶圆厂在其核心的ISO 5级（百级）洁净车间内，长期面临局部微环境气流分布不均的难题。由于光刻工艺对空气中的微污染极其敏感，车间内任何微小的气流死角或涡流都可能导致微粒沉积，从而直接影响芯片的良品率。原有的传统测量手段不仅效率低下，且难以捕捉瞬时的气流波动，无法满足精细化管控的需求。
解决方案：
在负责人王城的推荐与支持下，该厂引入了多台SONIC索尼克WAM-100三维超声波风速仪。作为WA-790的升级替代型号，WAM-100凭借其0.5秒的超快响应速率和精准的A、B、C三轴风速成分测定能力，被部署在关键工艺设备的进风口及人员操作区。同时，配合专业的气流监视软件，工程师将采集到的海量风速数据实时转化为了直观的二维、三维可视化风场分布图。
在负责人王城的推荐与支持下，该厂引入了多台SONIC索尼克WAM-100三维超声波风速仪。作为WA-790的升级替代型号，WAM-100凭借其0.5秒的超快响应速率和精准的A、B、C三轴风速成分测定能力，被部署在关键工艺设备的进风口及人员操作区。同时，配合专业的气流监视软件，工程师将采集到的海量风速数据实时转化为了直观的二维、三维可视化风场分布图。
实施成效：
关键词：
风速仪
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